聯(lián)系電話 13736813534
聯(lián)系電話 13736813534
當前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 壓電運動·室溫 > 緊湊型·掃描臺 > SH30.xyz.CXYZ三維壓電掃描臺，高負載，兼容高真空
簡要描述：SH30.xyz.C，XYZ三維壓電掃描臺，高負載，兼容高真空緊湊型 “SH 系列“ 高負載系列
產(chǎn)品型號：SH30.xyz.C廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2025-12-12訪 問 量：3362產(chǎn)品分類
PRODUCT詳細介紹
壓電·三維掃描運動 SH30.xyz.C
? 針對精密光學、半導體表征等“3自由度掃描運動"需求的定制解決方案
• 三維度XY掃描運動 30 um x 30 um x 15 um；
• 外形尺寸，160 mm x 160 mm x 35 mm；
• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于 0.3 nm；
• 最大負載10 kg；
• 支持高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級；
XYZ三維壓電掃描臺，高負載，兼容高真空——詳細參數(shù)：
XYZ三維壓電掃描臺，高負載，兼容高真空——尺寸圖：
多場科技“壓電掃描臺·緊湊型"解決方案主要包含：
S —— 掃描標準系列；
SD —— 高動態(tài)系列；
SH —— 高負載系列。
S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運動、Z軸單維度運動、XY軸雙維度運動和XYZ軸三維度運動等應用場景，支持電容閉環(huán)傳感，可選無磁/高真空/超高真空選件升級。
產(chǎn)品咨詢
版權所有©2026 多場低溫科技（北京）有限公司 備案號：京ICP備16069673號-2 地址：北京市懷柔區(qū)懷柔科學城有色金屬新材料科創(chuàng)園2號樓5層 管理登陸 技術支持：化工儀器網(wǎng)
